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三星电子计划外包低端光掩模生产业务

来源:icspec 责编: 时间:2025-05-15 09:57:13 207观看
导读据韩国科技媒体 TheElec 报道,三星电子正计划将其内存芯片制造所需的低端光掩模生产业务外包,集中资源专注于高端光掩模的研发与生产。光掩模是制造集成电路的重要模具,用于光致抗蚀剂涂层的选择性曝光,其工作原理类似于
据韩国科技媒体 TheElec 报道,三星电子正计划将其内存芯片制造所需的低端光掩模生产业务外包,集中资源专注于高端光掩模的研发与生产。
光掩模是制造集成电路的重要模具,用于光致抗蚀剂涂层的选择性曝光,其工作原理类似于用底片冲洗照片。三星目前已启动供应商评估流程,候选企业包括日本 Toppan 控股子公司 Tekscend Photomask 和美国 Photronics 旗下位于京畿道的 PKL。评估结果预计将在第三季度公布。
三星计划将 i-line(365 纳米)和 KrF(248 纳米)等低端光掩模生产外包,内部则保留 ArF(193 纳米)和 EUV(13.5 纳米)等高端光掩模的生产能力。原 i-line 和 KrF 的资源将转向 ArF 和 EUV 的研发。这一决策的背后原因是三星现有的 i-line 和 KrF 设备已老化且不再生产,难以找到替代设备。此外,低端光掩模技术外泄风险较低,外包有助于三星集中力量发展高端制程。

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