到2023年底，ASML在中国大陆的设备安装数量将接近1400台。尽管美国对中国的芯片出口管制日益严格，但ASML在中国市场的业绩却创下了新高。
据ASML全球副总裁、中国区总裁沈波透露，自1988年第一台机器运到中国以来，到2023年底，ASML在中国大陆的曝光机加上量测设备的总装机量将接近1400台。
然而，这25年间，ASML在中国大陆装机的EUV机台数量为零，那么DUV曝光机又有多少台呢？其中又有多少台是可以帮助实现先进制程的浸润式DUV机台呢？
根据ASML的年报数据，包括浸润式和乾式DUV机台在内，由于产能有限，ASML全球每年的出货量大约在100到200台之间，直到2021年才首次突破200台；至于在中国大陆的营收贡献度，从2015年开始才单独公布，起初占比不到10%。
据业界人士消息和估计，中国企业目前拥有约300台可以量产先进制程的浸润式DUV曝光机，其中已装机近百台，另外还有约200台的库存。
但需要注意的是，这些能够量产先进制程的浸润式DUV机台并不一定全部应用于先进制程。实际上，它们的主要用途仍然是按照ASML的出厂设定功能，主要聚焦于中端和成熟制程。然而，一些中国企业通过多重曝光等技术手段，使得这些机台理论上可以用于生产7纳米及以下的芯片。
换言之，如果简单地把已装机数量和库存加起来计算，在美国芯片设备禁令生效后（预计在2024年元旦），中国企业在现有的300台设备基础上再想大量采购高端DUV机台会面临很大困难。这也是为什么在2023年ASML向中国市场的出货量会大幅增长的原因之一——中国企业想在禁令生效前抓紧采购设备。
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