河北晶驰机电交付首台12寸碳化硅长晶炉

5月18日，河北晶驰机电有限公司（以下简称“晶驰机电”）在河北省举行了首台（套）12寸电阻法高纯碳化硅晶体生长炉的交付仪式。据正定发布消息，这款设备采用电阻式物理气相传输（PVT）方法，通过创新的结构与热场设计，结合先进的过程控制理论和自动化技术，实现了径向温度的均匀分布和轴向温度梯度的精准调控。其智能化运行能力显著，可实现8英寸和12英寸碳化硅单晶的“一键切换”生产，极大提升了设备的灵活性和生产效率。
晶驰机电成立于2021年7月，总部和研发中心位于杭州市浙江大学杭州国际科创中心，专注于第三代和第四代半导体材料装备的研发与生产。2024年年末，公司在河北石家庄建成了一座半导体材料研发生产基地，并于11月初正式投产。该项目总投资2亿元，占地约50.26亩，总建筑面积约20000平方米，分两期建设，主要聚焦金刚石设备与碳化硅外延设备的研发与生产。
据晶驰机电透露，此次交付的12英寸碳化硅晶体生长炉在性能上表现优异。相比传统6英寸和8英寸衬底，12英寸碳化硅衬底材料显著提升了单片晶圆的可用面积，不仅提高了芯片产量，还大幅降低了单位芯片制造成本。此外，该设备生产的晶锭形态优良，表面微凸度控制在2.4毫米以内，工艺稳定性高，操作便捷，适合产业化推广。
图源：正定发布
图源：正定发布

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