俄罗斯首台350纳米光刻机将量产

据俄罗斯卫星通讯社3月25日报道，莫斯科“泽列诺格勒纳米技术中心”公司宣布完成了俄罗斯首台350纳米光刻机的研发工作，这标志着俄罗斯在微芯片生产关键设备领域取得了重要突破。该设备将用于微电子产品的生产，包括汽车、航空航天、工业自动化和消费电子等多个领域。
莫斯科市长谢尔盖·索比亚宁在“电报”频道上发文称，全球能够制造光刻机的国家不到10个，俄罗斯已成功跻身这一行列。他表示，这一设备的问世是俄罗斯向自主生产微电子产品和实现技术独立迈出的重要一步。与国外同类设备相比，俄罗斯的光刻机首次采用固体激光器作为辐射装置，取代了传统的汞灯。固体激光器具有功率大、能效高、耐用性强以及光谱更窄的优势。
公司总经理阿纳托利·科瓦列夫透露，这一项目是在与白俄罗斯“Planar”工厂的合作下完成的。2024年12月，设备通过测试并获得国家委员会的认可，所有申报的技术特征均得到验证。目前已有客户购买了这一设备，工艺流程正根据用户需求进行调整。
据悉，这款光刻机的工作区域面积达到22x22毫米，可加工最大直径为200毫米的晶圆，主要用于电力电子和光子学领域的微电子设备生产。莫斯科市投资和工业政策局表示，“泽列诺格勒纳米技术中心”公司已具备批量生产该设备的能力，同时还在研发130纳米光刻机，预计2026年完成。
莫斯科政府部长兼投资和工业政策局局长阿纳托利·加尔布佐夫指出，莫斯科是俄罗斯微电子产业的核心，占全国微电子企业总营收的40%。光子学和微电子学的发展在通信、传感技术等领域具有广泛的应用前景，“莫斯科科技城”经济特区的入驻企业正在推进多个战略性项目。

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