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中央硝子开发无PFAS半导体光阻剂，希望挤入光阻剂市场

来源：责编：时间：2025-02-27 08:27:13 182观看

导读中央硝子成功研发出不使用全氟和多氟烷基物质（PFAS）的半导体光阻剂，计划2028年量产。随着半导体制造商推进PFAS减量，中央硝子抢占先机推出新材料。据日经新闻与官网数据，近年来环保要求提升，市场对无PFAS新材料需求增加。中

中央硝子成功研发出不使用全氟和多氟烷基物质（PFAS）的半导体光阻剂，计划2028年量产。随着半导体制造商推进PFAS减量，中央硝子抢占先机推出新材料。

据日经新闻与官网数据，近年来环保要求提升，市场对无PFAS新材料需求增加。中央硝子实现ArF浸润式光阻剂关键材料PFAS无害化，将持续推动产品化。

中央硝子与比利时微电子研究中心签署共同开发协议，加速研发无PFAS ArF浸没式光阻剂。双方将于2025年2月在美国举行的国际学术会议上发表研究成果及计划。

PFAS种类超过4700种，其中PFOS与PFOA因健康风险在日本被禁。尽管PFAS影响尚缺乏充分科学证据，欧洲化学品管理局已提出全面限制PFAS提案。

台积电日本子公司与Rapidus也关注PFAS问题。在半导体等领域，部分PFAS材料难以替代，如何消除疑虑成为厂商课题。中央硝子以不含PFAS为卖点，希望挤入光阻剂市场。

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